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• 결함 제어 웨이퍼, 缺陷制御-, high performance wafer

  웨이퍼 표면의 산소 원자 및 불순물과 기타 결함 등을 완전히 제거한 웨이퍼. 웨이퍼의 주요 원료가 되는 실리콘 단결정 봉(Ingot)을 성장시키는 과정에서 성장 속도와 열 처리 조건을 독자적인 방식으로 적용한 이 웨이퍼는 LG 반도체가 개발하였다. 이 웨이퍼는 질소와 산소의 혼합 가스를 사용한 고온의 열...